工艺模拟

Mozz Process 模拟在 Si, SiGe,和 SiC 基材料里面半导体工艺的制造步骤。 在下列工艺中,Mozz Process 都进行了建模。
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工艺
- 物理模型
- 离子注入
- 扩散和杂质激活
- 热氧化
- 机械应力
- 现象学模型
- 光刻
- 刻蚀
- 淀积和外延生长
Mozz Process 模拟在 Si, SiGe,和 SiC 基材料里面半导体工艺的制造步骤。 在下列工艺中,Mozz Process 都进行了建模。
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