核心亮点

  • 亚纳米分辨率的几何建模引擎

    支持更精细的结构还原，满足最前沿工艺节点的模拟需求；

  • 可靠、快速的大规模建模能力

    无论是先进逻辑、存储器还是异构集成结构，均可实现高效准确的建模仿真；

  • 全面支持主流半导体加工工艺

    涵盖沉积、刻蚀、热处理、CMP、离子注入等多种关键工艺模块，打造从前端到后段的一体化工艺模拟平台；

多物理场协同仿真能力

Mozz Emulator不仅是几何建模工具，更是一个开放协同平台：

  • 可与RC参数抽取工具协同，用于高精度电路建模；
  • 可与器件仿真器连接，推进Process-to-Device的精准建模；
  • 可与热应力/力学等多物理场仿真器对接，支持先进封装、3D IC等场景的协同仿真关键工艺模块，打造从前端到后段的一体化工艺模拟平台；

Mozz Emulator模型可通过3D打印机打印实体，如下图：

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