工艺模拟

mprocess_55nm_nmos

Mozz Process 模拟在 Si, SiGe,和 SiC 基材料里面半导体工艺的制造步骤。 在下列工艺中，Mozz Process 都进行了建模。

  • 工艺
    • 物理模型
    • 离子注入
    • 扩散和杂质激活
    • 热氧化
    • 机械应力
    • 现象学模型
    • 光刻
    • 刻蚀
    • 淀积和外延生长
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